Moleculele de gaze și atomii sunt ionizate prin coliziuni cu electroni, în interiorul camerei de ionizare. În interiorul camerei de ionizare, există anodul într-un cilindru „repetat”. Filamentul (catod) se află la o distanță echidistantă de tot anodul. Electronii sunt emise și accelerate spre anod cu o energie de 100EV, atunci Atunci când sunt ionizate la particulele de gaz, formând o plasmă de ioni și electroni. În acest fel, un electron care nu sa ciocnit cu gazul va fi reflectat de potențialul cilindrului „respingător” și va fi reputat din nou la anod.
Presiunea de evacuare a sursei de ioni este de obicei de ordinul de 2 umbar, pentru argon.
sursa de ioni de argon este utilizată în toate spectroscopiile electronice la vid ultra-înalt, Cu scopul de a curăța suprafața de studiu, prin eroziunea produsă de ioni de argon, pe eșantion, pot fi eliminate toate impuritățile depuse în acesta.