Gas moléculas e átomos são ionizados por colisões com elétrons, dentro da câmara de ionização. Dentro da câmara de ionização, há o ânodo dentro de um cilindro de “repelição”. O filamento (catodo) está a uma distância equidistante de todo o ânodo. Os elétrons são emitidos e acelerados para o ânodo com uma energia de cerca de 100EV, é então Quando ionizado às partículas de gás, formando um plasma de íons e elétrons. Desta forma, um elétron que não colidiu com o gás será refletido pelo potencial do cilindro “Repelling”, e será reformulado de novo para o ânodo.
A pressão de descarga da fonte de íons, é geralmente da ordem de 2embar, para argônio.
A fonte de íons de argônio, é usada em todos os espectroscopias eletrônicos no vácuo ultra alto, Com o objetivo de limpar a superfície para estudar, portanto, por erosão produzida por árgon íons, na amostra, pode ser removido todas as impurezas depositadas nele.