Molecole di gas e atomi sono ionizzati da collisioni con elettroni, all’interno della camera di ionizzazione. All’interno della camera di ionizzazione, c’è l’anodo all’interno di un cilindro “respingente”. Il filamento (catodo) è a una distanza equidistante da tutto l’anodo. Gli elettroni sono emessi e accelerati verso l’anodo con un’energia di circa 100ev, è quindi Quando ionizzati alle particelle di gas, formando un plasma di ioni ed elettroni. In questo modo un elettrone che non è stato colto con il gas si rifletterà dal potenziale del cilindro “respingente” e verrà reputato da nuovo all’anodo.
La pressione di scarico della sorgente ionica, è solitamente dell’ordine di 2Embar, per Argon.
La sorgente degli ioni di argon, è utilizzata in tutte le spettroscopie elettroniche al vuoto ultra alto, Con l’obiettivo di pulire la superficie per studiare, quindi dall’erosione prodotta da ioni di argon, sul campione, possono essere rimossi tutte le impurità depositate in esso.