As moléculas e os átomos de gas son ionizados por colisións con electróns, dentro da cámara de ionización. Dentro da cámara de ionización, hai o ánodo dentro dun cilindro “repeler”. O filamento (cátodo) está nunha distancia equidistante de todo o ánodo. Os electróns son emitidos e acelerados cara ao ánodo cunha enerxía de algúns 100EV, entón é entón Cando está ionizado ás partículas de gas, formando un plasma de iones e electróns. Deste xeito, un electrón que non colisionou co gas quedará reflectido polo potencial do cilindro “repelido” e será referido de novo ao ánodo.
A presión de descarga da fonte iónica, adoita ser da orde do 2MBAR, para o argón.
A fonte de ións de argona úsase en todas as espectroscopías electrónicas no baleiro ultra alto, Co obxectivo de limpar a superficie para estudar, polo tanto, por erosión producida por argon ions, na mostra, pódese eliminar todas as impurezas depositadas nel.