Les molècules de gas i els àtoms són ionitzats per les col·lisions amb els electrons, dins de la cambra de ionització. A l’interior de la cambra d’ionització, es troba l’ànode dins d’un cilindre “repeledor”. El filament (càtode), es troba a una distància equidistant de tot l’ànode. Els electrons són emesos i accelerats cap a l’ànode amb una energia d’uns 100eV, és llavors quan s’ionitzen a les partícules de gas, formant un plasma d’ions i electrons. d’aquesta manera un electró que no hagi topat amb el gas es vora reflectit pel potencial de l’cilindre “repeledor”, i serà rempujado de nou cap a l’ànode.
la pressió de descàrrega de la font d’ions, sol ser de l’ordre d’2Embar, per Argó.
la font de ions de Argó, s’empra en totes les espectroscòpies electròniques en ultra alt buit, amb l’objectiu de netejar la superfície a estudi, d’aquesta manera mitjançant l’erosió que produeixen els ions de Argó, sobre la mostra, s’aconsegueix treure totes les impureses dipositades a la mateixa.